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发明名称 CONNECTING HOLE FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0927480(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950177232 申请日期 1995.07.13
申请人 SONY CORP 发明人 NEGISHI KUNIAKI
分类号 B28D5/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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