发明名称 Dickschicht-Element mit abgeflachter Widerstandsschicht
摘要
申请公布号 DE69028039(T2) 申请公布日期 1997.01.23
申请号 DE19906028039T 申请日期 1990.05.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NII, MINORU, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., TOKYO 105, JP;FUKUOKA, YOSHITAKA, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., TOKYO 105, JP
分类号 H01C7/00;H01C17/065;H01C17/28;H01L21/70;(IPC1-7):H01L49/02 主分类号 H01C7/00
代理机构 代理人
主权项
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