Biaxialer Roboter mit magnetischer Kupplung,申请号DE19906027273-传众专利搜索

发明名称	Biaxialer Roboter mit magnetischer Kupplung
摘要
申请公布号	DE69027273(T2)	申请公布日期	1997.01.23
申请号	DE19906027273	申请日期	1990.10.10
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	LOWRANCE, ROBERT B., LOS GATOS, CALIFORNIA 95032, US
分类号	B25J9/06;B25J9/10;B25J9/12;B25J19/00;B25J21/00;F16D7/02;F16H49/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B25J9/12	主分类号	B25J9/06
代理机构		代理人
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