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发明名称 Halbleiteranordnung mit verringten zeitabhängigen dielektrischen Fehlern
摘要
申请公布号 DE69119820(T2) 申请公布日期 1997.01.23
申请号 DE19916019820T 申请日期 1991.04.12
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORP., MAYNARD, MASS., US 发明人 FISHBEIN, BRUCE JEFFREY, MARLBORO, MASSACHUSETTS 01752, US;DOYLE, BRIAN SEAMUS, FRAMINGHAM, MASSACHUSETTS 01701, US
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/167;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/43;H01L29/772 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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