Rastertunnelmikroskop,申请号DE1991617215T-传众专利搜索

发明名称	Rastertunnelmikroskop
摘要
申请公布号	DE69117215(T2)	申请公布日期	1997.01.23
申请号	DE1991617215T	申请日期	1991.05.08
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP;HITACHI CONSTRUCTION MACHINERY CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	HAZAKI, EIICHI, TSUCHIURA-SHI,, JP;YAMADA, OSAMU, KATSUTA-SHI, JP;NAKAIZUMI, YASUSHI, KATSUTA-SHI, JP;HOSOKI, SHIGEYUKI, HACHIOJI-SHI, JP;HOSAKA, SUMIO, NISHITAMA-GUN, TOKYO, JP;HASHIMOTO, AKIRA, TSUCHIURA-SHI, JP
分类号	G01B7/34;G01N27/00;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):G01N27/00	主分类号	G01B7/34
代理机构		代理人
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