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发明名称 Apparatus for and method of optical inspection in a total internal reflection holographic imaging system
摘要
申请公布号 EP0421645(B1) 申请公布日期 1997.01.22
申请号 EP19900310375 申请日期 1990.09.21
申请人 HOLTRONIC TECHNOLOGIES LIMITED 发明人 DANDLIKER, RENE;BROOK, JOHN EDWARD;HAMIDI, MASSOUD
分类号 G03H1/00;H01L21/027;G01B9/021;G01N21/88;G01N21/956;G02B7/28;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03H1/00;G03F7/207;G03H1/20 主分类号 G03H1/00
代理机构 代理人
主权项
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