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发明名称 Process for cleaning silicon mass
摘要
申请公布号 EP0548504(B1) 申请公布日期 1997.01.22
申请号 EP19920118561 申请日期 1992.10.29
申请人 HI-SILICON CO., LTD. 发明人 ITO, HIDEO;NARUKAWA, MITSUTOSHI;SAKAI, KAZUHIRO
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/037;C01B21/46 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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