发明名称 Method and apparatus for mapping of semiconductor materials
摘要
申请公布号 GB2276462(B) 申请公布日期 1997.01.22
申请号 GB19930005964 申请日期 1993.03.23
申请人 THE * UNIVERSITY OF SHEFFIELD;* BIO-RAD MICROSCIENCE LIMITED 发明人 JOHN STUART * ROBERTS;IAN LESLIE * FREESTON;RICHARD CHARLES * TOZER;ANTHONY CHARLES * GORVIN;IAN CHRISTOPHER * MAYES;FRANCOIS JEAN * DJAMDJI;STEPHEN RICHARD * BLIGHT
分类号 G01B7/06;G01R27/02;G01R27/16;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R27/02 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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