发明名称
摘要
申请公布号 JP2574996(B2) 申请公布日期 1997.01.22
申请号 JP19940034605 申请日期 1994.03.04
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 HAI SHIA CHEN;RINNHYUI HAO;FUIRITSUPU ESU HONSHINGAA;ANDORYUU DEBITSUDO HYUUBAA;TOOMASU JEI RABERII;SHUHYUI RIN
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L23/12;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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