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摘要
申请公布号
JP2574996(B2)
申请公布日期
1997.01.22
申请号
JP19940034605
申请日期
1994.03.04
申请人
INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP
发明人
HAI SHIA CHEN;RINNHYUI HAO;FUIRITSUPU ESU HONSHINGAA;ANDORYUU DEBITSUDO HYUUBAA;TOOMASU JEI RABERII;SHUHYUI RIN
分类号
H01L21/82;G06F17/50;H01L23/12;(IPC1-7):G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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