发明名称 制造锥形的光聚合波导阵列的方法
摘要 本发明涉及一种制造锥形的光聚合波导阵列的方法。该锥形波导可用于直视和投影式显示装置。在步骤(a)中,将具有不透明区和透明区的光掩模置于与基底牢固接触的位置。在步骤(b)中,在基底上放置一层厚度基本上均匀的可光聚合混合物,使基底位于可光聚合混合物和光掩模之间,其中(i)可光聚合混合物包含至少一种活性单体和光引发剂,(ii)光引发剂的用量足以在其后的步骤(c)中沿可光聚合混合物的整个厚度形成基本上准直的光化辐射梯度。在步骤(c)中,将可光聚合混合物和基底相对于与基本上准直的光化辐射保持在实际上固定的平面上,通过光掩模透明区用基本上准直的光化辐射使可光聚合混合物曝光,曝光时间足以形成光聚合的锥形波导阵列。其中(i)各波导的锥形端自基底向外延伸(ii)各波导有邻近基底的光输入表面和远离光输入表面的光输出表面,(iii)各波导的光输入表面的面积大于光输出表面的面积。在步骤(d)中,从基底上除去光掩模和在步骤(c)中未被基本上准直的光化辐射聚合的可光聚合混合物。
申请公布号 CN1141088A 申请公布日期 1997.01.22
申请号 CN94194800.5 申请日期 1994.10.18
申请人 联合讯号公司 发明人 K·W·贝森;S·M·兹姆尔曼;P·M·弗姆;M·J·麦克法兰德
分类号 G03F7/00;G02B6/10 主分类号 G03F7/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘元金;吴大建
主权项 1.一种方法,其中包括以下步骤:(a)将光掩模置于与基底牢固接触的位置,其中,所述光掩模具有不透明区和透明区;(b)在所述基底上放置一层厚度基本上均匀的可光聚合的混合物,以便使该基底位于可光聚合的混合物与光掩模之间,其中: (i)所述可光聚合混合物包含至少一种活性单体和光引发剂,并且 (ii)所述光引发剂的用量足以在其后的步骤(c)中沿可光聚合混合物的整个厚度形成基本上准直的光化辐射梯度;(c)将所述可光聚合混合物与基底保持在相对于基本上准直的光化辐射实际上固定的平面上,同时,通过光掩模的透明区使所述可光聚合的混合物受到基本上准直的光化辐射曝光,曝光时间足以形成锥形的光聚合波导阵列,其中: (i)所述各波导的锥形端从该基底向外延伸, (ii)所述各波导均有一个邻近该基底的光输入表面和一个远离该光输入表面的光输出表面,并且 (iii)所述各波导的光输入表面的面积大于其光输出表面的面积;并且(d)从所述基底上除去光掩模和在步骤(c)中实际上未被基本上准直的光化辐射聚合的可光聚合混合物。
地址 美国新泽西州