| 发明名称 |
Improved self-ligned silicide manufacturing method |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB9625173(D0) |
申请公布日期 |
1997.01.22 |
| 申请号 |
GB19960025173 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
