| 发明名称 |
An improved salicide process technology |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9625264(D0) |
申请公布日期 |
1997.01.22 |
| 申请号 |
GB19960025264 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/768;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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