| 发明名称 |
BONDING DEVICE, BONDING TOOL OPERATION CONTROLLER AND LOAD CONTROLLING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0922926(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
| 申请号 |
JP19930139712 |
申请日期 |
1993.06.11 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KASHIMA NORIYASU;KUBO TETSUYA;SUEMATSU MUTSUMI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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