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发明名称 WIRING INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0922943(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950169098 申请日期 1995.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAZAKI KAZUTO
分类号 H01L21/66;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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