发明名称 MANUFACTURE OF MEMBER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0922966(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950169752 申请日期 1995.07.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 YORO KATSUHIKO;SASAME AKIRA;KOBAYASHI AKINORI
分类号 H01L23/15;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/15 主分类号 H01L23/15
代理机构 代理人
主权项
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