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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0922890(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950170787 申请日期 1995.07.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUCHIYA HIROKO;SANO TADASHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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