| 发明名称 |
LIGHT IRRADIATION TYPE HEAT TREATMENT DEVICE FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0922879(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
| 申请号 |
JP19950195963 |
申请日期 |
1995.07.07 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
CHIBA TAKATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
