| 发明名称 |
TARGET FOR FORMING FILM BY SPATTERING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0920597(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
| 申请号 |
JP19950170697 |
申请日期 |
1995.07.06 |
| 申请人 |
IDOUTAI TSUSHIN SENTAN GIJUTSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
HOSHIZAKI HIRONORI;SUZUKI MASANOBU |
| 分类号 |
C30B29/22;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/34;H01B12/00;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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