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发明名称 ULTRASONIC WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0919665(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950168728 申请日期 1995.07.04
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 MATSUZAKI NOBUKI
分类号 B08B3/12;B06B1/06;B06B3/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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