发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0922946(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950172291 申请日期 1995.07.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMANISHI YUJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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