发明名称 PRODUCTION OF CRYSTAL SEMICONDUCTOR AND DEVICE FOR PRODUCTION THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0920594(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950166168 申请日期 1995.06.30
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUJIMOTO HIRONOBU;MIYAHARA SHINICHI
分类号 C30B29/06;C30B11/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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