发明名称 |
PRODUCTION OF CRYSTAL SEMICONDUCTOR AND DEVICE FOR PRODUCTION THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0920594(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
申请号 |
JP19950166168 |
申请日期 |
1995.06.30 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TSUJIMOTO HIRONOBU;MIYAHARA SHINICHI |
分类号 |
C30B29/06;C30B11/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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