发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0922991(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950172614 申请日期 1995.07.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 FURUHATA TOMOYUKI
分类号 H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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