| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0917369(A) |
申请公布日期 |
1997.01.17 |
| 申请号 |
JP19950159444 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO MITSUGI;HOYA TAKASHI;OSE YOICHI |
| 分类号 |
H01J37/141;G01R31/305;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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