| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DYNAMIC QUANTITY SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0918018(A) |
申请公布日期 |
1997.01.17 |
| 申请号 |
JP19950162643 |
申请日期 |
1995.06.28 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO TOSHIMASA;KIMURA YUJI;AO KENICHI;OTSUKA YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
H01L29/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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