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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE AND ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0917372(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950163907 申请日期 1995.06.29
申请人 NEC CORP 发明人 KODAMA SHUICHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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