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发明名称 COATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0917722(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950183383 申请日期 1995.06.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 KANAI SHOJI;HARASHIMA MASASHIGE;YAMAGAMI TAKASHI;KANEMATSU MASAYOSHI;TAMIYA YOICHIRO;OKANE SHINYA;ISHIUCHI MASAHIRO
分类号 G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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