发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH0917826(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950165225 申请日期 1995.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 MAKITA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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