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发明名称 BONDED SOI SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0917984(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950164337 申请日期 1995.06.29
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 TSUDA SHUHEI
分类号 H01L21/308;H01L21/02;H01L21/304;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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