发明名称 BLOW-UP CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH0918130(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950188581 申请日期 1995.06.30
申请人 TOSOK CORP 发明人 SUGURO AKIRA
分类号 H05K3/34;H01L21/60;(IPC1-7):H05K3/34 主分类号 H05K3/34
代理机构 代理人
主权项
地址