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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0917806(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950164022 申请日期 1995.06.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NIHEI MIZUHISA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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