| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR POROUS SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0917733(A) |
申请公布日期 |
1997.01.17 |
| 申请号 |
JP19950160872 |
申请日期 |
1995.06.27 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TANIGUCHI HIROSHI;TANAKA JUNICHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205;H01S3/18 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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