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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0917777(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950188306 申请日期 1995.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 MURASE HIROSHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;H01L31/02;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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