发明名称 SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0917981(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950189776 申请日期 1995.07.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIKAWA TETSUYA;TANAKA TOSHIHIRO;OSHIMA KAZUYOSHI;NODA TOSHIFUMI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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