| 发明名称 |
COATING METHOD FOR COATING SOLUTION AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0917723(A) |
申请公布日期 |
1997.01.17 |
| 申请号 |
JP19950183462 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SANADA MASAKAZU |
| 分类号 |
G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
