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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR OPTICALLY MEASURING SURFACE SHAPE AND STEP
摘要
申请公布号 JPH0914910(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950163745 申请日期 1995.06.29
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 SHIMIZU OSAMU
分类号 G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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