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<P>Procédé de fabrication d'éléments de microstructures flottants rigides et dispositif équipé de tels éléments.<BR/>Ce procédé de fabrication d'au moins un élément de microstructure (104, 116) dans un substrat comprenant un empilement d'une couche de support (100), d'une couche (102) de matériau sacrificiel et d'une couche de structure (104), comporte les étapes suivantes:<BR/>a) gravure dans le substrat d'une structure en relief (108) avec des flancs latéraux (110a, 110b),<BR/>b) formation d'une garniture dite de rigidité (116) sur les flancs latéraux (110a, 110b),<BR/>c) élimination du matériau sacrificiel de la structure en relief (108) pour libérer la microstructure flottante.</P>
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