| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR TESTER LE FONCTIONNEMENT D'ELEMENTS D'UNE MICROSTRUCTURE |
| 摘要 |
<P>Dispositif pour tester successivement le fonctionnement d'éléments d'une microstructure placés sur un support (1) pour permettre d'en contrôler au moins un à la fois.<BR/>Il comprend un dispositif (2) d'attaque d'un élément, un détecteur (3) sensible aux corpuscules émis ou réfléchis par l'élément ainsi qu'un dispositif (4) d'analyse des signaux de sortie du détecteur (3) concernant les caractéristiques émissives et/ou mécaniques de cet élément.<BR/>Application au contrôle successif du bon fonctionnement par exemple de détecteurs micromécaniques ou aussi de diodes laser ou de pointes d'émission d'un champ, etc., placés sur un substrat tel qu'une pastille.</P>
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| 申请公布号 |
FR2736725(A1) |
申请公布日期 |
1997.01.17 |
| 申请号 |
FR19960006983 |
申请日期 |
1996.06.06 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESSELSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH |
发明人 |
BRUNNER MATTHIAS;FEUERBAUM HANS PETER;FROSIEN JURGEN |
| 分类号 |
G01R31/26;B81C99/00;G01M11/00;G01R31/302;G01R31/305;G09G3/00;H01J9/42;H01L21/66;H01L29/66;H01S5/00;(IPC1-7):G01R31/265 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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