发明名称 Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Diamant
摘要
申请公布号 DE68927509(D1) 申请公布日期 1997.01.16
申请号 DE1989627509 申请日期 1989.05.18
申请人 XEROX CORP., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 JANSEN, FRANK, WEBSTER NEW YORK 14580, US;MACHONKIN, MARY ANN, WEBSTER NEW YORK 14580, US
分类号 C30B29/04;C23C16/02;C23C16/27;C30B25/02;H01L21/48 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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