发明名称 DISPOSITIVO PARA EVITAR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE ATOMIZACION EN VACIO.
摘要 LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO. ESTE DISPOSITIVO CONTIENE UN GENERADOR DE IMPULSOS (12), EL CUAL LLEVA EL CATODO (5) DE LA INSTALACION DE PULVERIZACION A INTERVALOS PREFIJADOS A POTENCIAL POSITIVO, POR LO CUAL TIENE LUGAR UNA DESCARGA DE CAPAS SOBRE UN BLANCO (7). ESTA DESCARGA IMPIDE LA FORMACION DE TENSIONES ELEVADAS QUE PUEDEN CONDUCIR A UNA DESCARGA.
申请公布号 ES2094433(T3) 申请公布日期 1997.01.16
申请号 ES19930113713T 申请日期 1993.08.27
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 STURMER, JOHANN;LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR.;THORN, GERNOT, DIPL.-ING.
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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