发明名称 |
DISPOSITIVO PARA EVITAR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE ATOMIZACION EN VACIO. |
摘要 |
LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO. ESTE DISPOSITIVO CONTIENE UN GENERADOR DE IMPULSOS (12), EL CUAL LLEVA EL CATODO (5) DE LA INSTALACION DE PULVERIZACION A INTERVALOS PREFIJADOS A POTENCIAL POSITIVO, POR LO CUAL TIENE LUGAR UNA DESCARGA DE CAPAS SOBRE UN BLANCO (7). ESTA DESCARGA IMPIDE LA FORMACION DE TENSIONES ELEVADAS QUE PUEDEN CONDUCIR A UNA DESCARGA.
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申请公布号 |
ES2094433(T3) |
申请公布日期 |
1997.01.16 |
申请号 |
ES19930113713T |
申请日期 |
1993.08.27 |
申请人 |
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
STURMER, JOHANN;LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR.;THORN, GERNOT, DIPL.-ING. |
分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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