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发明名称
摘要
申请公布号 JP2572645(B2) 申请公布日期 1997.01.16
申请号 JP19890090668 申请日期 1989.04.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NOZAWA KAZUHIKO
分类号 H01L23/40;(IPC1-7):H01L23/40 主分类号 H01L23/40
代理机构 代理人
主权项
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