发明名称
摘要
申请公布号 JP2570735(B2) 申请公布日期 1997.01.16
申请号 JP19870105381 申请日期 1987.04.28
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI KANJI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址