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发明名称
摘要
申请公布号
JP2570735(B2)
申请公布日期
1997.01.16
申请号
JP19870105381
申请日期
1987.04.28
申请人
SONY CORP
发明人
TAKAHASHI KANJI
分类号
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
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