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摘要
申请公布号
JP2571624(B2)
申请公布日期
1997.01.16
申请号
JP19890147471
申请日期
1989.06.09
申请人
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB
发明人
IWATSUKI MASASHI
分类号
G01B7/34;G01N27/00;G01Q60/10;G01Q60/12;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
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