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发明名称
APPARATUS FOR MONITORING IN-PROCESS FILM THICKNESS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0913171(A)
申请公布日期
1997.01.14
申请号
JP19950259087
申请日期
1995.10.05
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SHIOKAWA AKIRA;KODERA KOICHI;TANAKA HIROYOSHI;YASUI HIDEAKI;MUKAI YUJI;HIRAO TAKASHI
分类号
C23C14/54;G01N21/31;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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