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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0910709(A) 申请公布日期 1997.01.14
申请号 JP19950165379 申请日期 1995.06.30
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SUGIMOTO KENJI;MAEKAWA NAOTADA
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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