| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0912395(A) |
申请公布日期 |
1997.01.14 |
| 申请号 |
JP19950158956 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CABLE IND LTD |
发明人 |
TABATA YOSHI;KINOSHITA HIROAKI |
| 分类号 |
C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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