| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5345175(A) |
申请公布日期 |
1978.04.22 |
| 申请号 |
JP19760119970 |
申请日期 |
1976.10.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TODA HITOSHI;TAKIGUCHI IWAO |
| 分类号 |
H01L23/28;H01L21/48;H01L23/08;H01L23/48 |
主分类号 |
H01L23/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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