| 发明名称 |
Improvements in or relating to the Manufacture of Semiconductor Devices. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1165585(A) |
申请公布日期 |
1969.10.01 |
| 申请号 |
GB19670010293 |
申请日期 |
1967.03.03 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B31/02;C30B31/04;H01L21/00 |
主分类号 |
C30B31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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