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发明名称 CLEAN BENCH
摘要
申请公布号 JPH0911182(A) 申请公布日期 1997.01.14
申请号 JP19950154341 申请日期 1995.06.21
申请人 HITACHI LTD;NATL SPACE DEV AGENCY JAPAN<NASDA> 发明人 HAYASHI KYOSUKE;ITO MASAMI;ISHIDA KAZUHITO;YAMAWAKI TOSHIHIKO;FUJIMOTO NOBUYOSHI
分类号 B25J21/02;B01L1/00;F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):B25J21/02 主分类号 B25J21/02
代理机构 代理人
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