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经营范围
发明名称
FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0913170(A)
申请公布日期
1997.01.14
申请号
JP19950165088
申请日期
1995.06.30
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
IMAMURA MASAYOSHI;SUZUKI MASAYASU
分类号
C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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