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发明名称 DEEP TRENCH ISOLATION WITH SURFACE CONTACT TO SUBSTRATE AND THE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR970000552(B1) 申请公布日期 1997.01.13
申请号 KR19870014760 申请日期 1987.12.21
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 HUTTER, LOUIS N.;GOON, JAMES DOGAN;YAN, SHIU-HANG;GOPAL, K RAO
分类号 H01L21/76;H01L21/74;H01L21/763;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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